武汉大学科研公共服务条件平台场发射扫描电子显微镜已经安装调试完毕，即日起对校内开放试运行，欢迎校内师生预约测试！
仪器简介
SEM厂商：国仪量子（中国）
型号：SEM4000
能谱仪厂商：Oxford
型号：斜插式能谱仪（ULTIM MAX 100）；平插式能谱（UNITY）
系统简介：本仪器是一款场发射扫描电镜，电子光学镜筒设计优化，综合像差降低了30%，从而达到了0.5 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。系统配备斜插式和平插式两种能谱仪可实现快速元素分析。可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。
仪器配置及主要参数：
1）电子枪：肖特基场发射电子枪
2）分辨率：≤0.6 nm@15 kV, SE； ≤1.0 nm@ 1 kV, SE；
3）加速电压范围：20V~30kV :
4）放大倍数范围：1x~2,500,000x (1 ~ 16x为光学放大）；
5） 样品台类型：五轴机械优中心样品台；行程：X≥110 mm, Y≥110 mm, Z≥65 mm, T: -10° ~ +70° , R: 360° 连续可调；
6） 配备旁侧二次电子探测器（支持SE和BSE两种成像模式）和镜筒内电子探测器；
7）集成式背散射电子和X射线传感成像探测器。
送样须知
试运行期间开放校内预约，每人每天限制预约时长2小时，预约时请注明测试内容（形貌/元素分析）。
预约请登录：http：//facility.whu.edu.cn
预约系统中搜索：090 场发射扫描电子显微镜
实验室地点：武汉大学工学部尖端科技楼101F
联系人：张老师 17843083630
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